超純水液體顆粒計(jì)數(shù)器核心用于半導(dǎo)體、制藥、光伏、電力、精密制造等領(lǐng)域，對(duì)超純水及高純工藝流體中的微 / 納米顆粒（0.05–10μm）做離線(xiàn)檢測(cè)或在線(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控，保障工藝良率與產(chǎn)品可靠性。

一、半導(dǎo)體與微電子（最核心場(chǎng)景）

（1）晶圓制造超純水系統(tǒng)

制水端：RO/EDI/ 拋光混床出口、水箱循環(huán)，監(jiān)測(cè)≥0.05μm 顆粒，控制≥0.5μm≤10 個(gè) /mL、≥1μm≤2 個(gè) /mL，避免濾芯老化 / 樹(shù)脂脫落污染。

輸送管網(wǎng)：主干管 / 支管 / 閥門(mén) / 過(guò)濾器前后，在線(xiàn) 7×24 小時(shí)監(jiān)測(cè)，溯源管網(wǎng)二次污染（如焊渣、密封圈碎屑）。

車(chē)間終端：光刻 / 蝕刻 / 沉積 / 清洗機(jī)用水點(diǎn)，防止顆粒導(dǎo)致電路短路、光刻缺陷、蝕刻不均。

（2）光刻膠與化學(xué)品

光刻膠配制 / 輸送 / 回收：監(jiān)測(cè) 0.05–0.1μm 顆粒，避免晶圓表面缺陷、圖案失真。

蝕刻液 / 顯影液 / 剝離液：在線(xiàn)監(jiān)控高純化學(xué)品顆粒，防止蝕刻不均、線(xiàn)路斷路。

（3）零部件清潔度驗(yàn)證

硅片 / 石英 / 碳化硅部件：超純水超聲洗脫液檢測(cè)，量化清洗效果，評(píng)估供應(yīng)商工藝。

泵 / 閥門(mén) / 過(guò)濾器 / 管道：新部件驗(yàn)收、定期維護(hù)，排查微顆粒脫落風(fēng)險(xiǎn)。

普洛帝PMT-2 超純水顆粒計(jì)數(shù)器

二、制藥與生物醫(yī)療

（1）注射用水（WFI）與純化水

循環(huán)回路：在線(xiàn)監(jiān)測(cè)≥0.5μm 顆粒，符合 USP 788/EP 2.9.19，避免不溶性微粒超標(biāo)引發(fā)輸液反應(yīng)。

儲(chǔ)罐 / 分配系統(tǒng)：驗(yàn)證 CIP/SIP 效果，確認(rèn)清洗后無(wú)殘留顆粒。

（2）無(wú)菌制劑與醫(yī)療器械

注射劑 / 凍干粉針：離線(xiàn)檢測(cè)藥液顆粒，符合藥典標(biāo)準(zhǔn)，防止堵塞針頭、血管栓塞。

眼科溶液 / 沖洗液：控制≥0.5μm 顆粒≤5 個(gè) /mL，避免眼部刺激、感染。

植入器械 / 導(dǎo)管：終洗超純水檢測(cè)，確保表面無(wú)微顆粒殘留。

（3）生物工藝

培養(yǎng)基 / 緩沖液配制水：控制顆粒，避免堵塞濾膜、影響細(xì)胞培養(yǎng)。

一次性生物反應(yīng)器 / 凍存袋：表面洗脫液檢測(cè)，評(píng)估潔凈度。

三、光伏與新能源

（1）硅片 / 電池片制造

制絨 / 清洗 / 鈍化用水：監(jiān)測(cè)≥0.1μm 顆粒，防止表面劃痕、色差、轉(zhuǎn)換效率下降。

漿料 / 切割液配制水：控制顆粒，避免切割線(xiàn)斷線(xiàn)、電池片隱裂。

（2）半導(dǎo)體材料

氮化鎵 / 碳化硅外延用水：0.05μm 級(jí)監(jiān)測(cè)，保障外延層晶格質(zhì)量。

四、電力與能源

（1）超臨界 / 超超臨界鍋爐補(bǔ)給水

鍋爐給水 / 凝結(jié)水：在線(xiàn)監(jiān)測(cè)≥0.5μm 顆粒，防止鍋爐受熱面結(jié)垢、汽輪機(jī)磨損。

樹(shù)脂再生 / 清洗水：評(píng)估混床 / EDI 再生效果，避免樹(shù)脂碎片進(jìn)入系統(tǒng)。

（2）核電

一回路 / 二回路純水：控制顆粒，防止放射性沉積、設(shè)備腐蝕。

五、精密制造與光學(xué)

（1）光學(xué)元件

鏡片 / 棱鏡 / 透鏡研磨 / 清洗水：監(jiān)測(cè)≥0.1μm 顆粒，避免表面麻點(diǎn)、透光率下降。

鍍膜用水：控制顆粒，防止膜層針孔、脫落。

（2）精密機(jī)械

液壓 / 伺服系統(tǒng)清洗水：驗(yàn)證清洗效果，防止閥芯卡滯、密封件磨損。

航空發(fā)動(dòng)機(jī) / 軸承部件：終洗水檢測(cè)，確保無(wú)金屬碎屑、研磨粉殘留。

六、實(shí)驗(yàn)室與研發(fā)

超純水機(jī)性能驗(yàn)證：新設(shè)備驗(yàn)收、定期校準(zhǔn)，對(duì)比不同品牌 / 型號(hào)過(guò)濾器效率。

納米材料研發(fā)：石墨烯 / 碳納米管分散液、納米涂層用水，監(jiān)測(cè)顆粒團(tuán)聚與雜質(zhì)。

環(huán)境監(jiān)測(cè)：高純水處理工藝優(yōu)化、污染溯源研究，為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支撐。

七、應(yīng)用模式與關(guān)鍵指標(biāo)

離線(xiàn)檢測(cè)（臺(tái)式 / 便攜式）：實(shí)驗(yàn)室取樣、現(xiàn)場(chǎng)快速抽檢，粒徑 0.05–100μm，濃度 0–10?個(gè) /mL。

在線(xiàn)監(jiān)測(cè)（管道式）：24 小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)、超標(biāo)報(bào)警、數(shù)據(jù)記錄，粒徑 0.05–10μm，響應(yīng)時(shí)間≤1s。

核心標(biāo)準(zhǔn)：ISO 21501、GB/T 37163、SEMI C79、USP 788。

總結(jié)

超純水液體顆粒計(jì)數(shù)器是 “水質(zhì)顯微鏡"，從納米級(jí)半導(dǎo)體到微米級(jí)制藥制劑，從電力鍋爐到光學(xué)元件，通過(guò)精準(zhǔn)控制超純水中的微顆粒，直接保障產(chǎn)品良率、設(shè)備可靠性與生產(chǎn)安全。